| 챔 버 |
| 입력전원 |
AC220V±10% 50/60㎐ |
| 통신방식 |
USB |
| 온도제어 |
Preamp 및 챔버 자동온도 제어 |
| Focus |
Laser 에 의한 정밀 제어 |
| 샘플위치 |
Laser 에 의한 위치 맞춤 |
| 안전장치 |
측정중 문 열림 감지후 0.5초 이내에
셔터 및 XRay 발생 OFF |
| 표면선량율 |
1㎕Sv 이하 |
| 다중 채널 분석기 |
| 채널수 |
8K(8192) |
| 온도제어 |
자동온도 조절되는 PreAmp |
| 펄스처리 |
마이크로 컴퓨터에 의한 고속처리 |
| X-Ray Source |
| Tube |
Oil Cooling compact point
Micro Focus(option) |
| 고압전류 |
0~50kV(프로그램 제어) |
| 관전류 |
0~1mA(프로그램 제어) |
| Target |
W(Mo, Be window option) |
| Collimator |
| 방 식 |
고정식, option(자동식, Polycapillary) |
| 고정식 Size |
0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.1x0.4mm중 선택
(기타 Size option) |
| 자동식 Size |
0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.05x0.4mm |
| Detection System |
| 검출기 |
Proportional Counter, Pin, SDD |
| 컴퓨터 System |
| 컴퓨터 |
IBM Compatible computer |
| 모니터 |
21인치 LCD 모니터 |
| 프린터 |
Inkjet 칼라 프린터 |
| 2D 3D 및 임의위치 측정 |
| 2D |
일정한 간격의 제품이나 면 측정 |
| 3D |
면의 도금 분포 상황 측정 |
| 임의위치 |
불규칙한 배열의 제품측정 |
|
| Polycapillary |
 |
| Spot Size |
30um / FWHM |
|
|
|
| X-Y-Z Stage |
| |
|
| 구동방식 |
가감속 방식의 고속, 고정도 모타제어 |
| 위치제어 |
마우스에 의한 위치제어
Stage Control 윈도에 의한 제어
카메라 화면의 Point & Shot
2D3D, 임의위치 윈도 위치제어
프로그램에 의한 위치 제어
문 개폐에 의한 Y축 이동 제어 |
| 카메라 System |
| 카메라 |
디지털 CCD 칼라 카메라 |
| 표시방식 |
모니터에 Overlay 방식으로 표시 |
| 눈금선 |
Software 에 의한 눈금선 표시 |
| Beam 표시 |
Software 에 의한 실제 Size 표시 |
| Lamp |
밝기 조절을 위한 가변 기능 |
| 자동교정 |
Beam축과 카메라축의 자동교정 |
| 검량선 작성 |
| 적 용 |
단층, 복층, 합금두께 및 비율, 용액 |
| 보정기능 |
Density 보정
ReCalibration 에 의한 Background
보정 및 표준시편 보정 |
| 통계처리 |
| 처리항목 |
최대, 최소, 변동범위, 평균, 표준편차,
표준편차/평균, X-Bar 차트, Range 차트,
Histogram |
| 보고서 |
5종류의 다양한 보고서 |
| 처리개수 |
최대 90개 항목의 보고서 작성 |
| 로고기능 |
자사 그림 및 문자로고 삽입기능 |
| 미리보기 |
용지 낭비방지에 유용한 미리보기 |
| 정성분석 |
| 표시방식 |
원소의 스펙트럼 표시 |
| 방식 |
ROI 구간 방식에 의한 정성분석 |
| 원소표시 |
지정된 원소의 라벨표시 |
| 커서표시 |
커서의 원소 및 Data 표시 |
| ROI표시 |
지정된 ROI를 칼라로 표시 |
| 확대기능 |
원하는 부분을 확대하는 기능 |
| Avg 기능 |
스펙트럼을 부드럽게 표시 |
| 화면크기 |
작은크기에서 최대까지 연속크기조절 |
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