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챔 버
입력전원 AC220V±10% 50/60㎐
통신방식 USB
온도제어 Preamp 및 챔버 자동온도 제어
Focus Laser 에 의한 정밀 제어
샘플위치 Laser 에 의한 위치 맞춤
안전장치 측정중 문 열림 감지후 0.5초 이내에
셔터 및 XRay 발생 OFF
표면선량율 1㎕Sv 이하
다중 채널 분석기
채널수 8K(8192)
온도제어 자동온도 조절되는 PreAmp
펄스처리 마이크로 컴퓨터에 의한 고속처리
X-Ray Source
Tube Oil Cooling compact point
Micro Focus(option)
고압전류 0~50kV(프로그램 제어)
관전류 0~1mA(프로그램 제어)
Target W(Mo, Be window option)
Collimator
방 식 고정식, 자동식(option)
고정식 Size 0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.1x0.4mm중 선택
(기타 Size option)
자동식 Size 0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.05x0.4mm
Detection System
검출기 Proportional counter
검출기 Filter Co, Ni(option)
Primary Filter Al(option)
컴퓨터 System
컴퓨터 IBM Compatible computer
모니터 21인치 LCD 모니터
프린터 Inkjet 칼라 프린터
2D 3D 및 임의위치 측정
2D 일정한 간격의 제품이나 면 측정
3D 면의 도금 분포 상황 측정
임의위치 불규칙한 배열의 제품측정

X-Y-Z Stage
구동방식 가감속 방식의 고속, 고정도 모타제어
위치제어 마우스에 의한 위치제어
Stage Control 윈도에 의한 제어
카메라 화면의 Point & Shot
2D3D, 임의위치 윈도 위치제어
프로그램에 의한 위치 제어
문 개폐에 의한 Y축 이동 제어
카메라 System
카메라 디지털 CCD 칼라 카메라
표시방식 모니터에 Overlay 방식으로 표시
눈금선 Software 에 의한 눈금선 표시
Beam 표시 Software 에 의한 실제 Size 표시
Lamp 밝기 조절을 위한 가변 기능
자동교정 Beam축과 카메라축의 자동교정
검량선 작성
적 용 단층, 복층, 합금두께 및 비율, 용액
보정기능 Density 보정
ReCalibration 에 의한 Background
보정 및 표준시편 보정
통계처리
처리항목 최대, 최소, 변동범위, 평균, 표준편차,
표준편차/평균, X-Bar 차트, Range 차트,
Histogram
보고서 5종류의 다양한 보고서
처리개수 최대 90개 항목의 보고서 작성
로고기능 자사 그림 및 문자로고 삽입기능
미리보기 용지 낭비방지에 유용한 미리보기
정성분석
표시방식 원소의 스펙트럼 표시
방식 ROI 구간 방식에 의한 정성분석
원소표시 지정된 원소의 라벨표시
커서표시 커서의 원소 및 Data 표시
ROI표시 지정된 ROI를 칼라로 표시
확대기능 원하는 부분을 확대하는 기능
Avg 기능 스펙트럼을 부드럽게 표시
화면크기 작은크기에서 최대까지 연속크기조절